La limpieza de superficies con plasma es un proceso en el cual las impurezas y contaminantes de la superficie de la muestra se eliminan mediante la creación de plasma de alta energía a partir de partículas gaseosas, fue diseñado para diversas aplicaciones como limpieza de superficies, esterilización de superficies, activación de superficies, alteración de energía de superficies, preparación de la superficie para la unión y adhesión, modificación de la química de la superficie.